PDF資料,SMC大流量型3通電磁閥V114A-5LOUB 

產(chǎn)品特點：

【無需真空破壞閥】

通過無正壓的真空脫離，無需采取措施防止小芯片被吹走。

無需繁瑣地調(diào)整破壞壓力、流量及定時。

不使用真空破壞閥，實現(xiàn)了精簡化。

【占用空間小化】

與以往的帶破壞單元相比，安裝面積減少44％，重量減少53%，適用于制造裝置的小型化。

即使在小空間也可安裝，裝置設(shè)計的自由度更高。

通過輕量化，便于安裝在裝置可動部。

【可配備壓力傳感器】

單元中配備真空用壓力傳感器，外形更小巧。

負壓檢測也實現(xiàn)省空間。

采用U形卡銷固定壓力傳感器，提高可維護性。

【可安裝真空用過濾器】

配管過程中無需安裝過濾器。

真空用過濾器采用快插式更換。

主閥中沒有滑動密封圈，因此可禁油處理（特注品）。不向外部排氣。

高速下響應(yīng)穩(wěn)定。

真空可使用。

 對應(yīng)0603芯片 。

響應(yīng)速度：13msec （500mm 時※）/18.5msec （1000mm 時※）

無需調(diào)即可使工件平穩(wěn)脫落。

不需要調(diào)整真空?正壓切換時間。

不需要破壞空氣的節(jié)流回路。

低功率型 （2W DC 低功率型）

壓力從0MPa起可以使用。

可混合安裝VK300。

直動式電磁閥。

主閥結(jié)構(gòu)為間隙密封方式。

壓力從0MPa起可以使用。

可供給不同壓力。

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